订单捷报 | 智桦DICO2除静电方案,为何成为成熟制程的“隐形守护者”
近期,智桦半导体各产品线捷报频传,其中功能水产品线中的DICO2(二氧化碳水)设备订单持续增长,获得了多家主流设备厂与面板客户的青睐。这背后,是产业对制造过程中“静电控制”这一隐形难题的日益重视,也标志着我们的解决方案正精准击中行业痛点。




1.静电——纳米级制造中的“不速之客”
在半导体、显示面板的精密清洗、切割等制程中,超纯水(UPW)流经PFA、PVDF等绝缘管路时,摩擦会产生静电电荷。这些看似微弱的静电,会像磁铁一样吸附空气中的颗粒污染物,导致晶圆表面缺陷,甚至引发静电放电(ESD)损伤电路,直接威胁产品良率。
传统应对方式往往治标不治本。而智桦的 DICO2系统,提供了一种从根源上“疏导”静电的洁净方案。


2.DICO2→不止于“消除”,更在于“预防”
我们的DICO2设备,核心在于将食品级CO₂气体通过中空纤维膜组等高效溶解技术,均匀溶解于超纯水中,形成稳定的低电阻率功能水。其作用原理可概括为一个化学反应式:
CO₂ + H₂O ⇌ HCO₃⁻ + H₃O⁺ ⇌ CO₃²⁻ + 2H₃O⁺
溶解电离出的离子,显著提升了水的电导率,使其能够快速传导、中和表面电荷,从源头阻断静电吸附颗粒的路径。

DICO2(二氧化碳水)设备
创建时间:2026-09-20 16:17
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