共 7 个产品
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小型综合臭氧系统 (COS)
小型集成臭氧系统是一种紧凑、高效的臭氧发生和处理设备。该系统集高压放电室、高压电源、系统控制器、压力传感器、臭氧浓度计、质量流量计 (MFC) 、自动压力控制器 (APC) 等器件于一体。
应用于半导体工艺，包括光刻胶剥离、ALD/SACVD/PECVD/UV固化和晶圆表面处理。¥ 0.00产品详情
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臭氧气体系统 (ODS)
臭氧气体系统是集多腔/多通道、集成高浓度臭氧发生器、气路模块、系统控制器、电源模块、冷却水控制电路及安全联锁装置于一体的臭氧设备。应用于半导体工艺，包括光刻胶剥离，ALD/SACVD/UV固化/f-cvd。¥ 0.00产品详情
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臭氧水 (OWS)
输出高纯度高浓度臭氧水，内置臭氧水浓度和输出压力PID控制系统，精确控制臭氧水浓度和压力波动。配备完善的安全联锁装置，符合SEMI-S2，S6，f47。可应用于: 大硅片、硅片清洗、去胶、划片后清洗、CMP后清洗等。¥ 0.00产品详情
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超高纯臭氧发生器
臭氧发生器采用中高频无声板式放电技术，通过介质阻挡放电形成高压电场从而电离氧气，实现臭氧生成。
应用于CVD及ALD薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用(臭氧水清洗等)¥ 0.00产品详情
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臭氧水分解设备
臭氧水分解器是半导体湿法清洗工艺的核心设备。通过紫外 (UV) 光解技术和特殊的流道设计，将清洗后残留的臭氧水高效分解为无害的氧气和水，消除臭氧水对植物服务管道的腐蚀，并通过植物服务回收节省大量超纯水。它完全符合半导体行业 “零排放” 的严格标准¥ 0.00产品详情
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臭氧浓度分析仪
臭氧浓度计是一种高精度臭氧浓度测量仪器，基于紫外吸收法进行臭氧浓度检测，采用双光路采样技术，能有效提高信噪比，消除测量干扰。接触气体的材质为316L、石英和聚四氟乙烯，清洁无颗粒，满足半导体的高清洁要求。用于臭氧浓度的实时监测¥ 0.00产品详情
产品系列
Product series
深耕市场脉络、紧跟行业前沿，提供符合客户预期的产品与技术服务。
